一家胶带日企，70亿日元押注EUV光罩保护膜，踩进了半导体最尖端的“缝隙”
日期：2026年05月26
作者：广东功能膜材料工业设计研究院
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5月26日，据《日经新闻》报道，日本胶带与薄膜制造商琳得科（Lintec）已决定量产用于极紫外光刻工艺的防尘薄膜——EUV Pellicle，计划最早于2026年启动大规模生产，预计投资规模约70亿日元，年产约10,000片。
EUV Pellicle是覆盖在光刻掩模版表面的超薄透明保护膜，可防止微尘颗粒附着于电路图案区域，是推动5纳米及更先进制程良率的关键耗材。由于EUV光线波长极短，对材料的透光率、耐热性和化学稳定性要求极为苛刻，此前全球市场主要由三井化学等日本材料巨头主导。
筑波创新中心：碳纳米管Pellicle的“量产前夜”
5月21日，琳得科宣布将于2026年6月1日在日本产业技术综合研究所筑波中心内设立“筑波创新创造中心”，作为EUV光刻Pellicle专用研发与生产基地。该中心约配备30名员工，将配置碳纳米管Pellicle生产设备，向客户提供样品并支持全面量产准备。
日本产业技术综合研究所（AIST）筑波中心
CNT Pellicle是EUV光罩保护膜的下一代技术路线。与传统多晶硅材料相比，碳纳米管在EUV光透过率和耐高温性能上具有理论优势，但耐久性与透过率的平衡一直是个难题。琳得科在2月披露的技术细节显示，公司已开发出“双密度”CNT Pellicle——通过增加外围区域的厚度来增强耐久性，以应对未来更高功率EUV光源的挑战。
公司还与产综研半导体前沿研究中心展开联合研究，开发了一种新的无机涂层配方，可在300至400°C的氢等离子体环境中显著抑制CNT薄膜的蚀刻，大幅提升耐久性。
70亿日元的投资规模，放在半导体设备行业算不上重量级。但对于一家胶带企业而言，这笔钱投进的不是传统主业，而是一个技术壁垒极高的新领域。从工业胶带到EUV光罩保护膜，琳得科正在完成一次从“辅料供应商”到“核心制程材料商”的身份跃迁。
EUV Pellicle的市场规模有多大？据行业机构Grand View Research数据，2024年全球EUV Pellicle市场规模约5.58亿美元，预计2030年达到约16亿美元。相较于琳得科2025财年约3159亿日元（约21亿美元）的营收规模，这个市场绝对体量不算大。
但这片薄膜的卡位价值，远不止于市场规模本身。
EUV Pellicle是光刻工艺中的“一票否决项”——有它不一定良率高，没它良率一定崩。一片EUV光罩价值数十万美元，一颗微尘就可能导致整批晶圆报废。在3纳米以下的先进制程中，Pellicle已不是可选项，而是刚需。谁掌握了Pellicle的供应，谁就在先进制程的供应链上占据了一个难以绕过的节点。
琳得科的入局，也将改变这一细分市场的供应格局。此前EUV Pellicle由少数日系企业主导，琳得科的加入不仅丰富了供应生态，也为台积电、三星等EUV重度用户提供了第二供应商的选择。对于正全力扩产的全球先进制程产能而言，供应链多元化本身就是价值。
将琳得科近年的半导体相关布局摊开来看，EUV Pellicle并非孤立落子。
公司在2025年综合报告中明确表述：“我们正在推进一个旨在扩大业务领域的项目，为EUV光刻设备中使用的CNT Pellicle建立大规模生产框架。与公司此前开发的用于半导体后道工序的胶带材料不同，Pellicle用于前道工序——这是一次进入全新领域的尝试。”
从后端封装用胶带到前端光刻用保护膜，这条路径的延伸逻辑是清晰的。琳得科在精密涂布和聚合物材料设计上积累了数十年经验，CNT Pellicle的核心制备工艺——薄膜成型、涂层控制、缺陷管理——与胶带制造存在底层技术共通性。公司还在群马县吾妻工厂投资约45亿日元，引入先进洁净涂布设备，提升半导体相关胶带的厚度精度和稳定供应能力。
支撑琳得科EUV Pellicle叙事的同时，有几个结构性风险值得一并审视。
最大的不确定性来自客户。 据行业报道，台积电已于2025年9月将新竹Fab 3老厂改造为EUV Pellicle内部生产基地。全球最大的EUV光刻机用户，正在变成Pellicle的自供者。这不仅是琳得科一家的挑战，而是整个EUV Pellicle外部供应商面临的结构性命题——当最大客户决定自己造，市场的天花板就被重新划定了。
竞争格局也在快速演变。 三井化学自2021年起就与比利时微电子研究中心合作推进CNT Pellicle商业化，芬兰Canatu公司2025年7月获得客户对其CNT反应堆和加工设备的认可。琳得科虽是先行者，但“独家供应”的窗口期正在收窄。
市场规模的天花板同样需要正视。 即便到2034年达到17亿美元，且琳得科占据可观份额，对一家营收超3000亿日元的企业而言，EUV Pellicle带来的增量仍然是“重要但非决定性”的。市场对琳得科EUV Pellicle叙事赋予的估值期待，或许跑在了业务实际贡献的前面。
一家做胶带起家的日本企业，把70亿日元投进了半导体制造最尖端的缝隙里。琳得科的EUV Pellicle故事，本质上是一个“辅料企业向上突围”的样本。
从技术积累看，这条路走得有章法——精密涂布底子、与产综研的联合研发、双密度CNT的创新设计，证明它不是在盲目跨界。从市场现实看，台积电自供、三井化学追赶、市场规模有限，都在提醒一个事实：Pellicle是一门好生意，但不是一门大生意。
对琳得科而言，EUV Pellicle的意义或许不在于短期营收贡献，而在于它证明了一件事——一家胶带企业，也可以在半导体最核心的制程环节，拿到一张入场券。 这张入场券能换来多少真金白银，筑波创新中心6月1日启用后的客户验证和订单获取，将给出第一份答案。
（声明：文章由真人撰写，仅代表个人观点的输出。数据来源：日经新闻、Japan IR报道、Grand View Research及行业分析报告。如需转载，请后台私信。）
